CEM3000台式扫描电镜用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析。标配有高性能二次电子探头和多象限背散射探头、并可选配能谱仪、低真空系统,能满足用户对多类型样品的观测需求,实现微观的形貌和元素分析等。
核心优势
1、紧凑灵活,突破空间限制
(1)台式设计,体积小巧,轻松摆放在桌面或狭小空间(如手套箱、移动实验室),节省实验室空间。
(2)支持快速移机,一台设备满足多场景需求,助力科研效率提 升。
2、高性能,纳米级分辨率
(1)CEM3000台式扫描电镜空间分辨率优于4nm(SE),支持高达200,000倍放大,精准捕捉纳米材料、微流控芯片等样品的微观形貌。
(2)高衬度成像系统,快速扫描也能清晰呈现微弱信号,满足材料科学、生命科学等领域的需求。
3、抗振防磁,稳定无惧挑战
(1)特殊隔振设计(CEM3000B搭载复合抗振系统),消除环境振动与电磁干扰,保障高倍成像质量。
(2)适用于工业车间、车载实验室等复杂环境,稳定可靠。
4、**便捷,一键智能操作
(1)快速抽放气技术:低真空模式仅需40秒(CEM3000B),高真空模式**快1.5分钟,大幅缩短等待时间。
(2)自动对焦、消像散、图像增强功能,一键生成高质量图片,降低操作门槛。
5、灵活拓展,满足多样需求
(1)可选配低真空系统(5~100Pa),兼容导电/非导电样品观测。
(2)CEM3000台式扫描电镜支持二次电子、背散射电子探头及能谱仪,搭配颗粒统计、孔隙率测量等定制功能,满足多领域分析需求。
应用场景
材料科学:纳米材料(如60nm银线)、高熵合金粉末、氧化锌等微观结构分析。
新能源:太阳能电池板缺陷检测、涂层性能评估。
生物**:微流控芯片表面形貌观测、**载体研究。
工业质检:锡球颗粒焊接质量、精密器件表面粗糙度检测。
机型选择
CEM3000A(大样品仓型):70mm×70mm样品仓,兼容大尺寸或多样品批量分析。
CEM3000B(抗振型):专为振动环境设计,抽气更快(低真空仅40秒),成像更稳定。
部分技术指标
型号 |
CEM3000A(大样品仓型) |
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电子枪 |
灯丝 |
钨灯丝 |
分辨率 |
优于4nm(SE),优于8nm(BSE) @20kV |
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加速电压 |
1 ~ 20kV |
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放大倍数 |
电子图:40 ~ 200,000×(可选配大图拼接) |
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探测器 |
二次电子 |
标配 |
背散射电子 |
标配(四象限高分辨探头) |
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能谱仪 |
选配 |
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自动化软件 |
标配:自动合轴、自动聚焦、自动消像散、一键图像增强 |
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选配:颗粒度统计、孔隙率测量、纤维测量、三维粗糙度重建 |
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真空系统 |
真空度 |
高真空:优于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(选配) |
抽真空时间 |
低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min |
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样品台 |
自动轴 |
X,Y,T |
手动轴 |
R,Z |
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行程范围 |
X: 50mm |
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Y: 50mm |
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R: 0°~360°(手动旋转、电子束旋转) |
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T: -22.5°~ +22.5° |
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Z: 45mm |
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**大样品尺寸 |
70mm×70mm(水平) 45mm(高度) |
仓内相机 |
导航相机 |
标配高分辨彩色相机 |
侧视相机 |
标配高分辨红外相机 |
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操作系统 图片尺寸 |
Windows10 (64bit) |
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640×480 |
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1280×960 |
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2560×1920 |
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5120×3840 |
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10240×7680 |
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