superview光学3d表面轮廓仪

1、确定测量工件是什么？什么材质？什么形状？多大尺寸？

2、要测量的参数是哪些？测量精度要求是多少？

3、是否有其他特殊要求？

深圳中图仪器研发生产的superview光学3d表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器，有自动多区域测量功能、自动聚焦、批量测量、自动调亮度等自动化功能，还有拼接测量功能。基于白光干涉原理，以3D非接触方式测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：

1、表面形貌（粗糙度、平面度、平行度、台阶高度、锥角等等）

2、几何特征（关键孔径尺寸、曲率半径、特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）

superview光学3d表面轮廓仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。因测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点，再加上其独特的光源模式，保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测，被广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。