激光干涉仪

1604年开普勒（J．Kepler）写出光学作品，指出光的强度和到达光源距离的平方成反比。并于1611年出版《折射光学》。

1801年托马斯?杨（Thomas Young）用双狭缝实验演示了光的干涉现象，即杨氏双缝实验。

1881年迈克尔逊（Albert．A．Michelson）设计了实验来测量“以太”漂移。当然没测到漂移，由此导致“以太”说的破灭和相对论的诞生。它用于干涉仪，以镉红谱线和米原器作对比。正是由于他的工作导致后来用光的波长定义“米”。由于他在精密光学仪器、光谱和计量领域的研究工作于1907年获得诺贝尔奖。

1960年Maiman研制成功红宝石激光器，从此开始了光学技术飞速发展的新时代。从此，激光干涉测量被广泛地用于长度、角度、微观形貌、转速、光谱等领域，并和微电子技术、计算机技术集成，成为现代干涉仪。

1982年G．Binning和H．Rohrer研制成功扫描隧道显微镜，1986年发明原子力显微镜，1986年获得诺贝尔奖。从此开始了干涉仪向纳米、亚纳米分辨率和精度前进的新时代。

由于激光具有好的时间相干性，自问世以来，已研制出多种激光干涉仪：单频激光干涉仪、双频激光干涉仪、半导体激光干涉仪、法布里-珀罗（F-P）干涉仪、X射线干涉仪等。

激光干涉仪是激光在计量领域中成功的应用之一。利用光的干涉实现测量，具有非接触、无损检测的特点，已经在各个不同领域得到广泛的应用。

中图仪器SJ6000激光干涉仪 采用高稳频氦氖激光器、双纵模热稳频技术、多参数环境补偿技术、高速数字信号处理系统等技术，通过yu不同的光学组件结合，实现对线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测。线性测长精度：±0.5ppm，激光稳频精度：0.05ppm。