台式3d光学轮廓仪

中图仪器SuperViewW1台式3d光学轮廓仪可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。其集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。除初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，*大限度的保护仪器，降低人为操作风险。

操作方法
在计算机上打开白光干涉仪测量软件，在软件界面上设置好目镜下行的点，再微调镜头与被测单刻线台阶表面的距离，调整到计算机屏幕上可以看到两到三条干涉条纹为佳，此时设置好要扫描的距离。按开始按钮，白光干涉仪可自动进行扫描测量，测量完成后，转件自动生成3D图像，测量人员可以对3D图像进行数据分析，获得被测器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、0D参数。
应用范例
SuperViewW1台式3d光学轮廓仪基于白光干涉原理研制而成，采用扩展型的相移算法EPSI，集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点，单一模式即可适用于从超光滑到粗糙、平面到弧面等各种表面类型，让3D测量变得简单。

标准配置： 

1)SuperView W1主机
2)影像系统：1024×1024
3)光学Zoom：0.5×
4)干涉物镜：10×
5)XY位移载物台：自动位移台
6)DELL品牌计算机
7)4.7μm  Z向校准台阶块
8)操纵手柄
9)中图W1光学3D表面轮廓仪软件
10)自动多区域测量、自动拼接测量功能模块
11)电气控制柜
12)TGY30-680-30L无油静音空压机
13)仪器工作台
14)仪器配件箱
15)加压充气装置一套
16)产品使用说明书
17)产品合格证、保修卡
可选配置：
1）干涉物镜：2.5×、5×、20×、50×、100×
2）光学zoom：0.75×、1×；
3）真空吸附台（尺寸可定制）：4寸、6寸;
4）5孔电动物镜转盘；
5）隔振外壳（1043㎜×1120㎜×1630㎜）