13.56MHz射频电源（大功率）

产品性能

该电源输出功率可达2500W到5000W ，频 率13.56MHz，标准正弦波。该系列电源具有功率输出精度高、稳定、可重复等优点。其固态设计使得该产品价格低、可靠性高。电源采用大屏幕液晶显示：设定功率、入射功率、反射功率、状态等参数，同时还可以显示匹配器的运行参数并且通过电源面板可操作射频匹配器。

应用对象

该电源可以作为射频驱动等离子体系统的电源，该系统可应用于半导体工业。应用对象包括：刻蚀、RIE、平行板、ICP、磁控溅射、CVD、PVD、等离子清洗和PECVD等系统。